开局即奔跑，实干争春早。日前，记者走进北京中科科仪股份有限公司（以下简称“中科科仪”）看到，企业内各个团队铆足干劲，全力投入到研发工作之中，奋力冲刺“开门红”。

　　作为辖区内“硬科技”企业，中科科仪紧密围绕“抢占科技制高点”的总目标、总任务、总要求，依靠关键核心技术创新，研制出多项国内“首台套”产品，打破国外垄断，解决了一批高端科学仪器装备与核心零部件关键领域“卡脖子”“空心化”问题，为高质量发展奠定坚实基础。

　　聚力创新

　　推进半导体产业核心部件国产替代

　　记者走进中科科仪真空技术实验室看到，研发中心的工程师们正在全方位进行半导体前道工艺专用磁悬浮分子泵的各项性能测试，进一步扩大半导体装备“心脏部件”——磁悬浮分子泵的国产化水平，为我国半导体产业链自主可控贡献力量。

　　据悉，磁悬浮分子泵是集成电路关键制造装备的核心部件，但是在集成电路装备领域长期受国外垄断，严重影响了我国集成电路产业的安全，磁悬浮分子泵产品国产化已经成为制约我国集成电路制造装备产业发展的“卡脖子”问题。

　　为了破解这一关键“卡脖子”难题，中科科仪真空技术研发团队深耕细作，依托在分子泵领域近50年的核心技术积累和产业化应用经验，聚焦半导体产业应用，成功开发出半导体刻蚀和离子注入专用全口径、全系列磁悬浮分子泵。“这些设备的性能指标与稳定性达到了国际先进水平。”中科科仪真空技术研发团队的成员告诉记者。

　　针对一项半导体头部装备技术升级需求，真空技术研发中心的工程师们正在紧锣密鼓投入到定制化新产品研发、性能测试和产品应用技术支持工作中。正在调试设备的工程师告诉记者：“新的一年里，我们将持续深耕半导体装备需求，明确技术攻关方向，不断提升产品性能，力争实现对国际竞品的全面替代，以更新、更优、更智能、更可靠的产品，抢占科技制高点，解决行业发展瓶颈问题，推动半导体行业稳步发展。”

　　扩充产能

　　助推科学研究与战略新兴产业发展

　　记者来到了位于中科科仪大楼一层的电子光学实验室，电子光学团队的成员告诉记者，“新年要有新气象，我们电子光学团队的所有人都斗志昂扬、干劲十足，把研发工作放在心头，加快推进各项业务，为实现年度目标任务开好局、起好步。”

　　扫描电子显微镜被列为国家三十五项“卡脖子”技术之一，也被称为科学界的“纳米之眼”，主要应用于材料、物理、化学、生命科学等领域。作为高端通用大型科学仪器，在纳米量级观测设备中，扫描电子显微镜与纳米科技、分子生物学研究、半导体制造检测技术等发展相互促进。

　　记者在扫描电子显微镜的生产现场看到，中科科仪的总体调试工程师们正在对一台台扫描电子显微镜进行最后的集成调试。生产现场的另一侧，已经检验合格的扫描电子显微镜正在进行专业的包装，随后将发到客户现场进行后续安装调试验收。记者了解到，中科科仪生产的扫描电子显微镜订单来自高校科研院所，以及半导体、新能源、新材料等各前沿科技行业的企业。“为保证订单可以按时保质保量完成，我们的生产人员连续奋战，以实际行动展现了‘抢’的意识、‘高’的标准、‘实’的作风，诠释着‘科仪电镜人’的责任担当。”中科科仪电子光学团队成员说。

　　创新体系

　　助力科学仪器产业链上下游企业发展

　　作为科学仪器产业链链主企业，中科科仪不仅聚焦自身“科创实力”的增强，同时坚持系统观念、问题导向，全力增强产业链、供应链上下游企业的自主可控能力。

　　记者在中科科仪园区内看到，园区内除了中科科仪，还有中熵科技（北京）有限公司和1家集成电路全国重点实验室。“中科科仪的园区围绕创新链、产业链、人才链等进行资源整合，希望可以吸引优质科技企业入驻。”中科科仪相关业务负责人告诉记者，“与此同时，我们加快形成与科技创新体系、产业发展体系密切结合的创新生态体系，以期更好为园区内科技企业提供高品质服务。”据悉，未来中科科仪将继续发挥自身技术积淀与产业优势，依托中关村科学城区位资源，力争在这片科技创新的沃土上，建设创新创业策源地。

　　创新争先始终是中科科仪最亮眼的底色。作为目前国内极少数同时具备电子光学仪器及超高真空获得部件研发制造能力的企业之一，中科科仪始终坚持聚焦“硬科技”发展的定位和要求，在加速高端科学仪器装备和核心零部件科技成果转化与规模产业化领域，秉承国有企业的责任与担当，服务国家重大战略需求，引领国内尖端科学仪器设备及真空技术进步，领航产业发展，为加快建设科技强国，实现高水平自立自强作出更大贡献。

（作者 | 郭思岐，本文转载自《海淀报 》2024年2月19日 第1版）