3月21日，国家重大科学仪器设备开发专项“耐腐蚀超洁净系列涡旋干式真空泵开发和应用”项目启动暨2014年度工作布置会在中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司召开。辽宁省科技厅条财处、辽宁省国家重大科学仪器设备开发专项项目监理及财务监理专家、项目各任务负责人及财务人员出席会议。会议由项目牵头单位沈阳科仪副总经理张振厚主持。 

　　沈阳科仪作为该项目的牵头单位，联合东北大学、中科院金属研究所、中科院上海应用物理研究所、北京普析通用仪器有限责任公司、兰州空间技术物理研究所、北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司等共同承担。项目通过开展对系列涡旋干泵总体设计、系列涡旋干泵流场分析及型线优化、涡旋干泵材质与动密封、涡旋干泵防腐、涡旋干泵内部热场分析及对材料膨胀影响分析与优化及涡旋干泵特种电机等7项关键技术的研发，研制出具有自主知识产权、符合国家重大科学仪器应用要求、性能指标达到国际同类产品先进水平的耐腐蚀超洁净系列涡旋干泵产品。项目实施周期为3年，沈阳科仪真空干泵事业部部长王光玉担任项目负责人，东北大学巴德纯教授担任项目技术负责人。本项目的实施可为我国高端科学仪器如质谱类、光谱类、电镜类仪器提高质量水平，提供洁净真空环境，超高真空提供基础保证。 

项目专项启动会参会人员合影

　　撰稿人：张庆键